研究生: |
鄭維昇 Cheng, Weir Sheng |
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論文名稱: |
以鹵化矽與四鹵化鈦為先驅物製作薄膜之研究 The Study of the Thin Films Growth by Using Silicon Halide and Titanium Halide as Precursors |
指導教授: |
劉兆玄
Liu, Chao Shiuan |
口試委員: | |
學位類別: |
博士 Doctor |
系所名稱: |
理學院 - 化學系 Department of Chemistry |
畢業學年度: | 84 |
語文別: | 中文 |
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