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| 研究生： |
洪麒豐 HUNG, CHI-FENG |
|---|---|
| 論文名稱： |
氧含量與厚度對於氮化鋯與氮氧化鋯薄膜結構與性質之影響 Effects of Oxygen Content and Thickness on the Structure and Properties of ZrN and Zr(O,N) Thin Films |
| 指導教授： |
黃嘉宏
HUANG, JIA-HONG |
| 口試委員: |
呂福興
LU, FU-HSING 林郁洧 LIN, YU-WEI |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2025 |
| 畢業學年度： | 113 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 90 |
| 相關次數： | 點閱：14 下載：0 |
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全文公開日期 2026/02/08 (校內網路)全文公開日期 2026/02/08 (校外網路)
全文公開日期 2026/02/08 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)