研究生: |
謝佑聖 Yu-Sheng Hsieh |
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論文名稱: |
類LIGA製程用之光阻劑之合成與性質研究 Synthesis and Charaterization of Photoresists for LIGA-like process |
指導教授: |
李育德 博士
Dr. Yu-Der Lee 楊啟榮 博士 Dr. Chii-Rong Yang |
口試委員: | |
學位類別: |
博士 Doctor |
系所名稱: |
工學院 - 化學工程學系 Department of Chemical Engineering |
論文出版年: | 2001 |
畢業學年度: | 89 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 169 |
相關次數: | 點閱:121 下載:0 |
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