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| 研究生： |
朱豫森 Yu-Sen Chu |
|---|---|
| 論文名稱： |
蒸鍍在單面拋光矽晶片之含氫非晶矽膜氫含量與微結構檢測 The Characterization of H concentration and its evolution in a- Si:H film deposited on the single-side polished Si wafers |
| 指導教授： |
甘炯耀
Jon-Yiew Gan |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 畢業學年度： | 83 |
| 語文別： | 中文 |
| 相關次數： | 點閱：48 下載：0 |
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