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| 研究生： |
王晴賢 Wang, Ching-Hsien |
|---|---|
| 論文名稱： |
藉由氮化鋯擴散阻障層與微波退火提升鐵電電容特性並抑制喚醒效應 Suppression of Wake-Up Effect and Enhancement of Ferroelectric Capacitor Performance Using Zirconium Nitride Barriers and Microwave Annealing |
| 指導教授： |
巫勇賢
WU, YUNG-HSIEN |
| 口試委員: |
吳永俊
WU, YUNG-CHUN 蘇俊榮 SU, CHUN-JUNG |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2025 |
| 畢業學年度： | 113 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 66 |
| 相關次數： | 點閱：20 下載：0 |
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全文公開日期 2026/02/04 (校內網路)全文公開日期 2026/02/04 (校外網路)
全文公開日期 2026/02/04 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)