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| 研究生： |
羅松成 Lo, Sung-Cheng |
|---|---|
| 論文名稱： |
利用雙層多晶矽製程平台實現電容式微機電麥克風 The Development of MEMS Capacitive Microphones Using the Poly-Si Fabrication Platform |
| 指導教授： |
方維倫
Fang, Wei-Leun |
| 口試委員: |
葉文冠
李昇憲 鄭均文 刑泰剛 吳名清 鄒慶福 |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 動力機械工程學系 Department of Power Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2020 |
| 畢業學年度： | 108 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 205 |
| 相關次數： | 點閱：60 下載：0 |
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全文公開日期 2025/09/10 (校內網路)全文公開日期 2025/09/10 (校外網路)
全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)