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| 研究生： |
洪重卿 Chong-Qing Hong |
|---|---|
| 論文名稱： |
應用於體聲波元件之優選C-軸氮化鋁薄膜成長研究 A Study on Preferential C-axis AlN Thin Film Depositionfor Bulk Acoustic Wave Devices |
| 指導教授： |
黃瑞星
Ruey-Shing Huang |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電子工程研究所 Institute of Electronics Engineering |
| 論文出版年： | 2002 |
| 畢業學年度： | 90 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 73 |
| 相關次數： | 點閱：41 下載：0 |
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