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| 研究生： |
余淩嘉 Yu, Ling-Chia |
|---|---|
| 論文名稱： |
遠程電漿源腔體建模與產生器設計 Remote Plasma Source Chamber Modeling and Generator Design |
| 指導教授： |
吳財福
Wu, Tsai-Fu |
| 口試委員: |
潘晴財
Pan, Ching-Tsai 廖聰明 Liaw, Chang-Ming 陳裕愷 Chen, Yu-Kai 林長華 Lin, Chang-Hua 鐘太郎 Jong, Tai-Lang |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電機工程學系 Department of Electrical Engineering |
| 論文出版年： | 2022 |
| 畢業學年度： | 110 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 152 |
| 相關次數： | 點閱：36 下載：0 |
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全文公開日期 2027/01/20 (校內網路)全文公開日期 2027/01/20 (校外網路)