本文以磁浮軸承為對象設計製做一種光電位移感測器。該感測器採用商品
化光電積體電路元件做為訊號源，經自製之訊號處理電路輸出電壓訊號，

再以校準方式獲得電壓與位移之關係曲線。由測試結果得知，其工作區間

約為2mm，輸出訊號之靈敏度為1.8 V/mm ，雜訊值為 4 mV 。為測試自製

感測器在磁浮軸承控制之性能，本文建立一套單軸磁浮軸承實驗系統，該

系統主要組件為：磁浮機構做為受控體，數位訊號處理器做為控制器，自

製光電位移感測器提供位移訊號，如此形成閉回路控制系統。並採用線性

化之受控浮軸承實驗系統。體數學模式，根據滑動模式控制原理設計具有

強健性之控制器，由數位訊號處理器執行控制律的計算，進行數位控制。

實驗結果顯示，在滑動模式控制下，系統的穩定性對系統參數變動、靜態

外力干擾及位置偏移量皆具有強健性，其穩態位置誤差在0.01mm以內。且

在動態特性方面，可設定系統的阻尼比，不受系統參數變動的影響然而，

系統對於動態外力干擾的抑制能力尚不甚理想，為後續研究的重要問題。

根據實測結果，本文自製光電位移感測器之性能，尚可符合一般磁浮軸的

要求，並具有低價格的特點。故本文的結果對於國人在研發磁浮軸承系統

而面臨高價位位移感測器之問題時，提供一種減低設備費用的辦法。另外

，滑動模式控制應用於磁浮軸承之實際效果，亦可做為相關研究人員員參

考。