簡易檢索 / 詳目顯示
| 研究生： |
楊 容 |
|---|---|
| 論文名稱： |
基於三正丁基與三乙烯基架構的六錫光阻材料設計與其在E-beam微影中的應用探討 Design of a Hexatin-Based Photoresist with Tri-n-butyl and Tri-vinyl Framework for E-beam Lithography Applications |
| 指導教授： |
劉瑞雄
Liu, Rai-Shung |
| 口試委員: |
吳典霖
Wu, Tien-Lin 許博淵 Shew, Bor-Yuan |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
理學院 - 化學系化學組 化學系化學組(eng) |
| 論文出版年： | 2025 |
| 畢業學年度： | 113 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 122 |
| 相關次數： | 點閱：27 下載：0 |
| 分享至: |
| 查詢本校圖書館目錄 查詢臺灣博碩士論文知識加值系統 勘誤回報 |
全文公開日期 2030/08/11 (校內網路)全文公開日期 2030/08/11 (校外網路)
全文公開日期 2030/08/11 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)