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研究生: 林志賢
Lin, Chih-Hsien
論文名稱: 自動混氣設備創新的價值-以A公司為例
The Innovation Value of Automatic Mixing Equipment - A Case Study of Company A
指導教授: 蔡子晧
Tsai, Tzu-Hao
口試委員: 余士迪
郭啟賢
莊明熙
倪福全
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 科技管理學院 - 高階經營管理深圳境外碩士在職專班
Executive Master of Business Administration in Shenzhen
論文出版年: 2021
畢業學年度: 109
語文別: 中文
論文頁數: 51
中文關鍵詞: 混氣設備
外文關鍵詞: mixed gas equipment
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  • 半導體工廠因製程需求而需要各種特殊氣體相互產生化學反應來製作晶圓,主要應用於前段晶圓製造中的化學氣相沉積、光罩、刻蝕、擴散等諸多程序。其中也使用了不少混合性氣體來滿足化學反應需求。
    傳統混和性氣體則由氣體公司在工廠內以配重比方式製造,並壓縮於鋼瓶內,再運送至各半導體工廠使用,每一批的混合氣鋼瓶的質量控制,是一個關鍵的問題。又因法令的限制,諸多的化學危險品規定禁止運輸,或是可以運輸,但申請流程繁瑣且運輸方式非常困難且需要專業的團隊執行,導致庫存管理與物流的運輸的費用,占了成本非常大的部分。
    一般混合性氣體,在生產過程中,有一定的技術難度,著重於精確度控制的誤差,故一般的售價會遠比100%氣體的售價高出許多。但因應奈米制程的精進技術,所需的化學反應強度需更加精確,因此些許100%的純氣體將被混合性氣體取而代之。
    依照市場的走向以及科技的迅速發展,現代半導體工廠,除了要尋求技術突破外,還必須面臨與人工智慧結合,才有技術提升的可能,因而導致原物料成本的降低以及人事費用減少等改變,本文所探討的個案-A公司,即在此類的創新與技術結合上下足苦功,逐漸在半導體加工廠業界脫穎而出,希望透過研究A公司的做法,給予半導體加工產業中其他廠商一個借鏡,並作為效法的對象。


    Semiconductor factories need a variety of special gases to produce chemical reactions to each other to make wafers, mainly used in the front wafer manufacturing chemical vapor deposition, light cover, etching, diffusion and many other procedures. A number of hybrid gases are also used to meet the chemical reaction requirements.
    Traditional mixed gases are manufactured by gas companies in factories by counterweight ratio and compressed into cylinders and then transported to semiconductor plants for use, and quality control of each batch of mixed gas cylinders is a key issue. Due to the restrictions of the law, many chemical dangerous goods regulations prohibit the transport, or can be transported, but the application process is cumbersome and the mode of transport is very difficult and requires professional team implementation, resulting in inventory management and logistics transport costs, accounting for a very large part of the cost.
    General hybrid gas, in the production process, there is a certain technical difficulty, focusing on precision control errors, so the general price will be much higher than the price of 100% gas. However, due to the refining of nano-processes, the required chemical reaction strength needs to be more precise, so some 100% pure gas will be replaced by a mixture of gases.
    According to the trend of the market and the rapid development of science and technology, modern semiconductor factory, in addition to seeking technological breakthroughs, must also face the combination of artificial intelligence, only then the possibility of technological upgrading, resulting in the reduction of raw material costs and personnel costs and other changes, the case-A company discussed in this paper, that is, in this kind of innovation and technology combined with hard work, gradually stand out in the semiconductor processing industry, hoping to study the practice of Company A, to give other manufacturers in the semiconductor processing industry a mirror. and as an object of emulation.

    目錄 摘要 II Abstract III 致謝詞 IV 目錄 V 第一章 緒論 1.1 研究背景與動機 1 1.2 研究目的 2 第二章 文獻探討 2.1 創新理論 4 2.2 競爭分析工具 7 2.3混合氣體產業發展相關文獻 13 第三章 研究方法 3.1 個案研究法 20 3.2 研究流程設計與章節架構 21 第四章 個案研究結果 4.1 個案公司與產業發展介紹 22 4.2 混合氣體技術創新之價值 26 4.3 產業競爭分析 31 第五章 個案討論 5.1 個案創新關鍵因素 36 5.2 個案商業模式探討 44 5.3 個案產業鏈分佈與市場對應狀況 46 第六章 結論 49 參考文獻 51

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