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| 研究生： |
楊音光 Yang, Yin-Kuang |
|---|---|
| 論文名稱： |
探討雷射特性與干涉微影的產能及良率提升之研究 Improvement of the yield and production capacity of laser interference lithography |
| 指導教授： |
傅建中
Fu, Chien-Chung |
| 口試委員: |
楊尚達
羅丞曜 黃萌祺 鄭明傑 |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 動力機械工程學系 Department of Power Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2025 |
| 畢業學年度： | 113 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 87 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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全文公開日期 2026/02/04 (校內網路)全文公開日期 2026/02/04 (校外網路)