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研究生： 謝博璿
Shie, Bo-Shiuan
論文名稱： La0.67Ca0.33MnO3/ La0.67Sr0.33MnO3多層膜之物性研究
The Physical Properties of La0.67Ca0.33MnO3/ La0.67Sr0.33MnO3 Multilayer Thin film
指導教授： 齊正中
Chi, Cheng-Chung
口試委員:
學位類別： 碩士
Master
系所名稱： 理學院 - 物理學系
Department of Physics
論文出版年： 2009
畢業學年度： 97
語文別： 中文
論文頁數： 55
中文關鍵詞： 鑭鈣錳氧 、鑭鍶錳氧 、多層膜
外文關鍵詞： La0.67Ca0.33MnO3, La0.67Sr0.33MnO3, Multilayer
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    • 我們利用脈衝雷射沉積法(Pulsed Laser Deposition, PLD)來成長[(La0.67Ca0.33MnO3)x/(La0.67Sr0.33MnO3)y]N 的多層膜，分別為成長x:y=1:1及x:y=3:1兩個系列，總厚度固定為2000A，同個系列中改變個別層的厚度，觀察此變化對電性、磁性、結構上的影響。電性上看的出來，當N越大，也就是個別層的厚度減少時，TMI往低溫移動， ρMAX增加，金屬-絕緣的轉變也越劇烈，此與CMR單一材料之薄膜特性相似，也就是低的TMI有較高的ρMAX和急遽的轉變。不同的系列，可以看出當LCMO含量增加時，多層膜的TMI越靠近LCMO的TMI，而兩系列的TMI皆介於LCMO和LSMO的TMI之間。在此嘗試用單層電阻並聯的觀念去模擬多層膜的電阻-溫度曲線，利用單層薄膜的LCMO及LSMO的電阻率以及假設的介面所貢獻的電阻率去擬合，發現在低溫區(<0.7TMI)，曲線的趨勢及大小比較符合實驗值，我們認為在高溫時與實際差異很大，是因為每層之間有某種交互作用存在，所以無法當作互相獨立的電阻並聯，至於是何種交互作用，目前無法確定。

    摘要………………………………………………………………………I 目錄…………………………………………………………………...…II 第一章 簡介 1-1 磁阻的介紹……………………………….……………………..1 1-2 磁阻的種類……………………………….……………………..2 1-3 La1-xAxMnO3的介紹…………………….………………………6 1-4 Double-Exchange Model……………….……………………....12 1-5 Jahn-Teller Distortion………………….……………………….14 1-6文獻回顧及實驗動機…………………..……………………....16 第二章 薄膜製程及測量設備 2-1 鍍膜系統…………….…………………………………………18 2-2 薄膜製作……………….………………………………………20 2-3 量測系統………………….……………………………………24 第三章 結果與討論 3-1 單層薄膜結果…………………….……………………………26 3-2 多層薄膜結果…………………….……………………………34 第四章 結論………………………………………………………...….54 References…………………………………………………………...….55

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