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| 研究生： |
鄭兆禎 Cheng, Chao Chen |
|---|---|
| 論文名稱： |
鎳酸鑭與鉭共濺度之移相式光罩薄膜研究 A study of attenuated phase-shifting mask film cosputtered by LaNiO3 and Ta |
| 指導教授： |
吳泰伯; 甘炯耀
Tai-Bor Wu; Jon-Yiew Gan |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 畢業學年度： | 84 |
| 語文別： | 中文 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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