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| 研究生： |
謝建文 Gen-Wen Hsieh |
|---|---|
| 論文名稱： |
新型紫外光厚膜光阻合成暨類LIGA製程進行之微混合器製作研究 Synthesis of Novel UV Thick Photoresist and Fabrication of Micromixer by LIGA-like Process |
| 指導教授： |
李育德
Yu-Der Lee 楊啟榮 Chii-Rong Yang |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 化學工程學系 Department of Chemical Engineering |
| 論文出版年： | 2001 |
| 畢業學年度： | 89 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 56 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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