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研究生: 周偉仁
Chou, Wei-Zen
論文名稱: ECR PCVD製作之非晶形矽碳膜微結構及物性研究
Microstructure and Physical Properties of a-SiC:H Prepared by ECR PCVD
指導教授: 周麗新
Chou, Lih-Hsin
口試委員:
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 工學院 - 材料科學工程學系
Materials Science and Engineering
畢業學年度: 84
語文別: 中文
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