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| 研究生： |
沈宣伯 Shen, Hsuan-Po |
|---|---|
| 論文名稱： |
結合雷射干涉系統之微影及RIE蝕刻製程製作奈米壓印之Si模具 Fabrication of Silicon Molds for Nanoimprint Lithography by Integrating of Laser Interferometric photolithography & Reactive Ion Etch Lithography |
| 指導教授： |
傅建中
Fu, Chien-Chung |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 動力機械工程學系 Department of Power Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2010 |
| 畢業學年度： | 99 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 100 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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