研究生: |
陳利傑 Li-Chieh Chen |
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論文名稱: |
金屬(鋁)/鐵電薄膜(鋯鈦酸鉛)/絕緣層(氧化鉿)/半導體 場效電晶體之製作及電性分析 The fabrication and electrical properties of metal(Al)/ferroelectric (Pb(Zr0.53Ti0.47)O3 )/insulator(HfO2)/semiconductor field-effect transistors |
指導教授: |
李雅明
Joseph Ya-min Lee |
口試委員: | |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
電機資訊學院 - 電子工程研究所 Institute of Electronics Engineering |
論文出版年: | 2003 |
畢業學年度: | 91 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 82 |
相關次數: | 點閱:1 下載:0 |
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