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研究生: 羅聖全
Lo, Shen-Chuan
論文名稱: 以高分辨能量過濾電鏡研究離子化金屬電漿沉積鈦薄膜之製程
指導教授: 開執中, 陳福榮
Kai Ji-Jung, Chen Fu-Rong
口試委員:
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 原子科學院 - 工程與系統科學系
Department of Engineering and System Science
畢業學年度: 86
語文別: 中文
論文頁數: 89
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