研究生: |
羅聖全 Lo, Shen-Chuan |
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論文名稱: |
以高分辨能量過濾電鏡研究離子化金屬電漿沉積鈦薄膜之製程 |
指導教授: |
開執中, 陳福榮
Kai Ji-Jung, Chen Fu-Rong |
口試委員: | |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
畢業學年度: | 86 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 89 |
相關次數: | 點閱:1 下載:0 |
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