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研究生: 毛慶宜
Ching-Yi Mao
論文名稱: 0.25*0.25 um^2 氮化鈦/鋁-矽-銅/氮化鈦/二矽化鈦/P+/N 接觸結構可靠度問題之研究
Study on reliability issues of 0.25*0.25 um^2 TiN/Al-Si-Cu/TiN/TiSi2/P+/N contact structure
指導教授: 黃惠良
Huey-Liang Hwang
吳幼麟
You-Lin Wu
口試委員:
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 電機資訊學院 - 電子工程研究所
Institute of Electronics Engineering
畢業學年度: 87
語文別: 英文
論文頁數: 78
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