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| 研究生： |
薛心白 Hsueh, Hsin-Pai |
|---|---|
| 論文名稱： |
可調式表面波共振腔激發之大面積電漿源 A Large Area Microwave Plasma Source Excited by a Tunable Surface Wave Cavity |
| 指導教授： |
寇崇善
Chwung-Shan Kou |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
理學院 - 物理學系 Department of Physics |
| 畢業學年度： | 85 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 60 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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