近年來，全球氣候變遷造成世界各地災情慘重，各國紛紛開始召開CO2減量的會議，但成效還是不如預期，隨著全球溫室效應愈來愈嚴重，各國政府也更積極實施節能減碳政策。2010年為台灣的節能減碳年，經濟部推展了各項節能措施後，國內各大半導體廠才開始重視節能減碳。半導體產業為技術密集且屬高耗能的產業，為了節能減碳，如何有效地運用各種節能手法以降低CO2 排放成為重要的課題。本研究以SMART決策分析架構和資料包絡分析法為基礎，建立半導體業之晶圓廠能源績效評估模式，使用多項節能手法以衡量能源耗能管理績效，同時考量理論與實務的情況給各項指標改善的方向與建議，以提昇晶圓廠能源耗能及分配的決策；本研究並以台灣某半導體公司之晶圓廠為實證以檢驗能源績效，藉由半導體產業在節能減碳手法運用，並建構OEE能源績效指標，可以幫助管理者瞭解各個決策單位的執行狀況，並作適當地資源配置。本研究結果發現晶圓廠必須特別評估擴廠加入節能設計，並以實例說明節能成效與能源管理，分析8吋晶圓廠務系統所面臨的問題及改善方向，也提供未來建廠的參考依據，實證研究已驗證本研究之可行性。

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