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| 研究生： |
李東穎 Li, Tung-Ying |
|---|---|
| 論文名稱： |
雙光子微影系統應用於矽光子晶片封裝之線上對位加工模組開發 Development of On-line Alignment and Processing Module for Silicon Photonics Packaging with Two-Photon Lithography System |
| 指導教授： |
傅建中
Fu, Chien-Chung |
| 口試委員: |
李三良
Lee, San-Liang 鄭正元 Jeng, Jeng-Ywan |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 動力機械工程學系 Department of Power Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2023 |
| 畢業學年度： | 111 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 48 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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全文公開日期 2025/08/29 (校內網路)全文公開日期 2025/08/29 (校外網路)