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| 研究生： |
蘇玉珍 Yu Chen,Su |
|---|---|
| 論文名稱： |
研究電感式耦合電漿化學濺鍍法快速成長高C軸指向之AlN薄膜機制 Studying the Rapid Growth Mechanism of Highly C-axis Oriented AlN by Inductively Coupled Plasma Chemical Sputtering |
| 指導教授： |
黃振昌
Dr.J.Hwang 甘炯耀 Dr.J.Gan |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2002 |
| 畢業學年度： | 90 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 101 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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