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研究生： 余志昱
Yu, Chih-Yu
論文名稱： 變壓器耦合式電漿之研究
Study of Transformer Coupled Plasmas
指導教授： 寇崇善
Kou, Chwung-Shan
口試委員:
學位類別： 碩士
Master
系所名稱： 理學院 - 物理學系
Department of Physics
論文出版年： 2010
畢業學年度： 98
語文別： 中文
論文頁數： 56
中文關鍵詞： 電漿 、變壓器 、切換式功率源
外文關鍵詞： plasma, Transformer, switching power supply
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    • 本研究探討切換式功率源驅動變壓器耦合式電漿(Transformer Coupled Plasmas, TCP)的電漿激發機制與特性。本研究成功研發切換式功率源，頻率操作上限300 kHz，輸出電壓上限為350 V，實驗操作功率為60 W至130 W。切換式功率源激發的電漿密度在1010 cm-3至1011 cm-3量級，氣壓可在20 mTorr至300 mTorr之間操作。
    　　實驗使用Langmuir Probe量測電漿密度與電子溫度；光譜儀量測系統量測氬氣電漿在可見光範圍內的特徵光譜特性；以電路學方式量測電漿電壓、電漿電流的特性。對量測結果進行討論與分析，同時以OrCAD軟體模擬電漿的電路特性進行分析。

    第一章 　簡介 1.1 前言 1 1.2 變壓器耦合式電漿簡介 1 1.3 研究目的 3 第二章 　切換式功率源 2.1　切換式功率源 4 　　2.1.1　直流轉交流之換流原理 4 2.1.2　輸出頻率控制與相位調變PWM拓樸 9 2.1.3　換流器電路設計 14 第三章 　實驗系統與原理 　3.1　實驗系統 16 　3.2　實驗原理 19 第四章 　實驗量測方法 4.1 光譜儀量測系統 22 　4.2 電壓、電流特性量測 23 　　4.2.1　電壓、電流量測設置 23 4.2.2　電壓、電流分析 25 4.2.3　理想變壓器 26 4.3 Langmuir Probe量測系統 28 4.3.1 Langmuir Probe 原理 29 4.3.2 I-V特性曲線分析 32 第五章 　實驗結果與分析 　5.1 光譜特性分析 34 　5.2 Langmuir Probe量測結果分析 39 　5.3 電壓電流特性量測分析 43 　　5.3.1　電漿激發前後之電壓電流波形比較 43 　　5.3.2 電漿密度 48 5.3.3　電漿激發電壓 49 5.3.4變壓器模型與電路模擬 53 第六章 　結論 56 參考文獻

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