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| 研究生： |
林詠虔 Lin, Yung-Chian |
|---|---|
| 論文名稱： |
具新穎壓力計之CMOS-MEMS 單晶整合環境感測中樞 CMOS-MEMS monolithic integration for environmental sensing hub with pressure sensor structure design |
| 指導教授： |
方維倫
Fang, Wei-leun |
| 口試委員: |
李昇憲
Li, Sheng-Shian 蘇旺申 Su, Wang-Shen |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 奈米工程與微系統研究所 Institute of NanoEngineering and MicroSystems |
| 論文出版年： | 2020 |
| 畢業學年度： | 108 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 104 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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全文公開日期 2025/08/11 (校內網路)全文公開日期 2025/08/11 (校外網路)