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| 研究生： |
林哲璋 Lin, Zhe-Zhang |
|---|---|
| 論文名稱： |
以電漿輔助化學氣相沉積法及氯化物前驅物製備鍺錫薄膜之製程優化及薄膜光致發光特性研究 Process Optimization of Germanium Tin Thin Film Prepared by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition and Chloride Precursors and Study of Film Photoluminescence Characteristics |
| 指導教授： |
林明緯
Lin, Ming-Wei 陳賜原 Chen, Szu-Yuan |
| 口試委員: |
王偉華
Wang, Wei-Hua 趙得勝 Chao, Der-Sheng |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 核子工程與科學研究所 Nuclear Engineering and Science |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 64 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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全文公開日期 2029/01/24 (校內網路)全文公開日期 2029/01/24 (校外網路)