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| 研究生： |
王建評 Wang, Chien-Ping |
|---|---|
| 論文名稱： |
實現於先進鰭式電晶體技術之晶圓上極紫外光微感測器陣列 A Study of On-Wafer Micro-Detectors Array for in-situ EUV Detection by FinFET Technologies |
| 指導教授： |
金雅琴
King, Ya-Chin |
| 口試委員: |
林崇榮
Lin, Chrong Jung 池育德 Chih, Yue-Der 吳品鈞 Wu, Pin-Jiun 侯拓宏 Hou, Tuo-Hung |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電子工程研究所 Institute of Electronics Engineering |
| 論文出版年： | 2022 |
| 畢業學年度： | 111 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 138 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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