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| 研究生： |
許馥帆 Hsu, Fu-Fan |
|---|---|
| 論文名稱： |
以界面工程與超臨界流體製程改善矽鍺鰭式場效電晶體之電特性研究 Improved Electrical Characteristics of SiGe FinFET with Interfacial Layers and Super-Critical Fluid Treatment |
| 指導教授： |
張廖貴術
Chang-Liao, Kuei-Shu |
| 口試委員: |
羅廣禮
LOU, Guang-Li 朱俊霖 ZHU, Jun-Lin |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2022 |
| 畢業學年度： | 111 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 123 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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全文公開日期 2027/12/18 (校內網路)全文公開日期 2027/12/18 (校外網路)