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| 研究生： |
徐志揚 Chih-Yang Hsu |
|---|---|
| 論文名稱： |
基版偏壓對氮化鋯薄膜結構及性質之影響研究 The Effect of Bias on The Structure and Property of ZrN Thin Film Deposited by HCD Ion Plating |
| 指導教授： |
黃嘉宏
Jia-Hong Huang 喻冀平 Ge-Ping Yu |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2000 |
| 畢業學年度： | 88 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 79 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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