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| 研究生： |
沈冠傑 Shen, Guan-jie |
|---|---|
| 論文名稱： |
以微波電漿放電後氧化法成長超薄抗硼穿透氮化氧化薄膜之XPS研究 XPS Study on The Ultra-thin, Boron-Penetration-Resistant, Nitrided Oxide Grown by Microwave Plasma Aftergrow Oxidation |
| 指導教授： |
黃惠良
Hwang Huey-liang |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電機工程學系 Department of Electrical Engineering |
| 畢業學年度： | 85 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 33 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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