研究生: |
劉瑞敏 Liu, Jui-Min |
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論文名稱: |
以四階段不降溫方式在矽(111)上成長高指向立方碳化矽之研究 Growth of Highly Oriented 3C-SiC on Si(111) using the four-step non-cooling process |
指導教授: |
黃振昌
Hwang, Jenn-Chang |
口試委員: | |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
論文出版年: | 2009 |
畢業學年度: | 97 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 68 |
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