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| 研究生： |
殷開明 Yin Kai-Min |
|---|---|
| 論文名稱： |
鉭和氮化鉭擴散障礙層於大型 積體電路中銅導線製程之失效機制研究 Investigation the failure mechanism of the Ta and TaN duffusion barriers in the Cu metallization |
| 指導教授： |
開執中
Kai Ji-Jung 陳福榮 Chen Fu-Rong |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2001 |
| 畢業學年度： | 89 |
| 語文別： | 中文 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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