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| 研究生： |
洪旭甫 Shue-Fu Hung |
|---|---|
| 論文名稱： |
二矽化鉬與二矽化鎢在單晶矽與多晶矽上的氧化行為研究 The Oxidation Behaviors of MoSi2 and WSi2 on Single Crystalline Si and Polycrystalline Si |
| 指導教授： |
陳力俊
Lih-Juann Chen |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 1999 |
| 畢業學年度： | 88 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 79 |
| 相關次數： | 點閱：57 下載：0 |
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