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| 研究生： |
史朝文 Chao-Wen, Shih |
|---|---|
| 論文名稱： |
非氨系蝕銅液在非等向性蝕刻之研究 The Study of Anisotropic Copper Etching with |
| 指導教授： |
萬其超
Chi-Chao, Wan 王詠雲 Yun-Yung, Wang |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 化學工程學系 Department of Chemical Engineering |
| 論文出版年： | 2003 |
| 畢業學年度： | 91 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 160 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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