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| 研究生： |
張原銘 Yuan-Ming Chang |
|---|---|
| 論文名稱： |
晶圓廠之自動化物料搬運系統模擬研究–以黃光區與爐管區為例 Simulation Analysis of Automated Material Handling System in the Photo and Diffusion Area for a Wafer Fab |
| 指導教授： |
林則孟
James T. Lin |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 工業工程與工程管理學系 Department of Industrial Engineering and Engineering Management |
| 論文出版年： | 2003 |
| 畢業學年度： | 91 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 140 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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