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| 研究生： |
彭遠清 Yuan Ching Peng |
|---|---|
| 論文名稱： |
氮化鈦薄膜在超大型積體電路製程上之應用 The Applications of TiN Thin Films in ULSI Technologies |
| 指導教授： |
陳力俊
Lih Juann Chen |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 畢業學年度： | 87 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 169 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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