研究生: |
黃震麟 Cheng-Lin Huang |
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論文名稱: |
製程對濺鍍氮化矽薄膜光學性質、應力行為與熱機械性質影響於磁光結構之研究 Effects of Processing Conditions on the Stress Behaviors and Properties of Sputtering Silicon Nitride Thin Film for Magneto-Optical Structure |
指導教授: |
賴志煌
Chih-Huang Lai |
口試委員: | |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
論文出版年: | 2000 |
畢業學年度: | 88 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 150 |
相關次數: | 點閱:4 下載:0 |
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