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研究生: 王哲夫
Wang, Jer-Fu
論文名稱: 低溫電漿輔助化學氣相沉積法成長富矽碳化矽薄膜之薄膜太陽能電池
Fabrication of Si-rich Silicon Carbide Film and Solar Cells by Low-Temperature Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
指導教授: 潘犀靈
Pan, Ci-Ling
口試委員: 郭浩中
Hao-Chung Kuo
李晁逵
Chao-Kuei Lee
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 理學院 - 物理學系
Department of Physics
論文出版年: 2014
畢業學年度: 102
語文別: 英文
論文頁數: 70
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