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| 研究生： |
汪建宇 Wang, Chien-Yu |
|---|---|
| 論文名稱： |
應用於先進 CMOS 銅雙鑲嵌製程之可調變高電容值奈米針型陣列電容器 High Capacitance of Trimming Via Pin Array Capacitor in Cu Dual Damascene CMOS BEOL Process |
| 指導教授： |
林崇榮
Lin, Chrong-Jung |
| 口試委員: |
金雅琴
施教仁 池育德 |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電子工程研究所 Institute of Electronics Engineering |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 113 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 59 |
| 相關次數： | 點閱：57 下載：0 |
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全文公開日期 2029/09/18 (校內網路)全文公開日期 2029/09/18 (校外網路)