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研究生: 柯俞東
Ko, Yu-Dong
論文名稱: 二維光子晶體薄膜在發光二極體上之應用
Study of two dimensional photonic crystal thin film for LED applications
指導教授: 齊正中
Chi, Cheng-Chung
口試委員:
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 電機資訊學院 - 光電工程研究所
Institute of Photonics Technologies
論文出版年: 2009
畢業學年度: 97
語文別: 中文
論文頁數: 78
中文關鍵詞: 光子晶體發光二極體薄膜
外文關鍵詞: photonic crystal, led, thin film
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  • 我們研究探討改進在LED表面出光的光子晶體(Photonic Crystal)以及類光子晶體(PQC- Photonic Quasi-Crystal) 圖形的蝕刻(正方晶格、三角-正方晶格)對LED出光效能的影響。利用排列表面蝕刻圖形(PQC 以及 PC)以及量測LED總出光的增益、出光方向、和遠場光的形狀來實現我們的物理機制,幾個影響因素有晶格形狀、蝕刻深度、以及磊晶厚度。希望可以改變LED的出光光型,以及改善其出光的效率,以期應用在投影電視光源和平板顯示照明上得到較好的效果。

    製程上我們利用奈米壓印(nanoimprint lithography NIL)製程來重複製作我們所需要的光子晶體圖形,取代以往耗時的電子束微影製程,希望可以做出快速且容易重複生產的光子晶體圖形。並且設計類似LED表面圖形的薄膜結構,利用連續光源經過分光儀產生不同波段的光,來驗證是否與模擬所預測的結果相同。


    封面 摘要 致謝 目錄 第一章 導論 1 1-1 光子晶體應用及發展近況 1 1-2 奈米壓印技術介紹 4 1-3 研究動機及方向 9 1-4 結論 11 第二章 光子晶體與類光子晶體發光二極體理論介紹 12 2-1 光子晶體理論簡介 12 2-2 光子晶體和類光子晶體對發光二極體發光效率及光型之影響 23 2-3 結論 26 第三章 光子晶體與類光子晶體薄膜及發光二極體元件之製作 27 3-1 二次奈米壓印製程流程介紹 27 3-2 光子晶體與類光子晶體之發光二極體元件製作 43 3-3 光子晶體與類光子晶體之薄膜製作 47 3-4 製程結果及分析 51 3-5 結論 59 第四章 量測系統與測試 60 4-1 量測系統介紹 60 4-2 繞射圖形量測結果及分析 63 4-3 發光二極體發行量測結果及分析 66 4-4 繞射量測結果與電腦簡易模擬結果對照分析 68 4-5 結論 72 第五章 結論與建議 73 參考文獻 75

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