研究生: |
柯俞東 Ko, Yu-Dong |
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論文名稱: |
二維光子晶體薄膜在發光二極體上之應用 Study of two dimensional photonic crystal thin film for LED applications |
指導教授: |
齊正中
Chi, Cheng-Chung |
口試委員: | |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
電機資訊學院 - 光電工程研究所 Institute of Photonics Technologies |
論文出版年: | 2009 |
畢業學年度: | 97 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 78 |
中文關鍵詞: | 光子晶體 、發光二極體 、薄膜 |
外文關鍵詞: | photonic crystal, led, thin film |
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我們研究探討改進在LED表面出光的光子晶體(Photonic Crystal)以及類光子晶體(PQC- Photonic Quasi-Crystal) 圖形的蝕刻(正方晶格、三角-正方晶格)對LED出光效能的影響。利用排列表面蝕刻圖形(PQC 以及 PC)以及量測LED總出光的增益、出光方向、和遠場光的形狀來實現我們的物理機制,幾個影響因素有晶格形狀、蝕刻深度、以及磊晶厚度。希望可以改變LED的出光光型,以及改善其出光的效率,以期應用在投影電視光源和平板顯示照明上得到較好的效果。
製程上我們利用奈米壓印(nanoimprint lithography NIL)製程來重複製作我們所需要的光子晶體圖形,取代以往耗時的電子束微影製程,希望可以做出快速且容易重複生產的光子晶體圖形。並且設計類似LED表面圖形的薄膜結構,利用連續光源經過分光儀產生不同波段的光,來驗證是否與模擬所預測的結果相同。
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