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研究生: 蔡宗鳴
Tsai Tsung Ming
論文名稱: 低介電常數材料在積體電路上之應用研究
study on low dielectric constant material in ULSI technology applications
指導教授: 葉鳳生
Fon-Shan Yeh
口試委員:
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 電機資訊學院 - 電子工程研究所
Institute of Electronics Engineering
論文出版年: 2000
畢業學年度: 88
語文別: 中文
論文頁數: 34
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