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| 研究生： |
賴冠宇 Lai, Kuan-Yu |
|---|---|
| 論文名稱： |
以三氧化釔閘堆疊改善矽鍺全環繞式場效電晶體之電特性研究 Improved Electrical Characteristics of SiGe Gate-All-Around FET with Y2O3 Gate Dielectric Stack |
| 指導教授： |
張廖貴術
ChangLiao, Kuei-Shu |
| 口試委員: |
羅廣禮
Luo, Guang-Li 朱俊霖 Chu, Chun-Lin |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2020 |
| 畢業學年度： | 108 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 83 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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