研究生: |
亞諾拉 Zope, Anurag |
---|---|
論文名稱: |
應用於感測與頻率控制之熱致動壓阻式CMOS-MEMS共振器與振盪器開發 CMOS-MEMS Thermal-Piezoresistive Resonators and Oscillators for Sensing and Frequency Control |
指導教授: |
李昇憲
Li, Sheng-Shian |
口試委員: |
邱一
Chiu, Yi 鄭裕庭 Cheng, Yu-Ting 李尉彰 Li, Wei-Chnag 方維倫 Fang, Wei-Leun 盧向成 Lu, Siang-Cheng |
學位類別: |
博士 Doctor |
系所名稱: |
工學院 - 奈米工程與微系統研究所 Institute of NanoEngineering and MicroSystems |
論文出版年: | 2021 |
畢業學年度: | 109 |
語文別: | 英文 |
論文頁數: | 119 |
相關次數: | 點閱:2 下載:0 |
分享至: |
查詢本校圖書館目錄 查詢臺灣博碩士論文知識加值系統 勘誤回報 |