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| 研究生： |
林嘉柏 Chia-Po Lin |
|---|---|
| 論文名稱： |
高密度電漿化學氣相沈積法成長含氧碳化矽做為氫離子感應膜之研究 Study on silicon oxycarbide deposited by high density plasma chemical vapor deposition for hydrogen ion-sensitive membrane |
| 指導教授： |
陳建瑞
Jiann-Ruey Chen |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2004 |
| 畢業學年度： | 92 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 102 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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