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| 研究生： |
林建宏 Lin, Jian-Hong (Lin, Chien-Hung) |
|---|---|
| 論文名稱： |
PIII觸媒植入和無電鍍銅技術應用於ULSI內導線金屬化製程之研究 Studies on the Metallization for ULSI Interconnect Using PIII Catalytic Seeding and Electroless Copper Plating |
| 指導教授： |
施漢章
Shih, Han C. |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2002 |
| 畢業學年度： | 91 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 132 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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