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| 研究生： |
楊晉堅 Yang, Jinn-Jien |
|---|---|
| 論文名稱： |
低能量, 高劑量離子佈值 (001) 矽晶之退火行為研究 Annealing Behaviors of Very Low Enery, High Dose Ion Implanted (001) Si |
| 指導教授： |
陳力俊
Chen, Lih-Juann |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 畢業學年度： | 85 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 63 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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