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| 研究生： |
陳慶育 Chen, Chin Yu |
|---|---|
| 論文名稱： |
利用鍺進行預非晶化佈植改善鰭式電晶體之接觸電阻與漏電流 Improvement of Contact Resistance and Leakage Current for FinFETs by Adopting Ge Pre-Amorphization Implantation |
| 指導教授： |
巫勇賢
Wu, Yung Hsien |
| 口試委員: |
黃智方
施君興 |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2016 |
| 畢業學年度： | 104 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 87 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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