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| 研究生： |
黃振雲 J. Y. Huang |
|---|---|
| 論文名稱： |
快速退火形成鈦化矽時雜質的影響 The Influence of Impurity on Fabrication of Titanium Silicide by Rapid Thermal Annealing Process |
| 指導教授： |
吳信田
S. T. Wu |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 畢業學年度： | 87 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 135 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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