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| 研究生： |
蔡宜霈 Tsai, Yi Pei |
|---|---|
| 論文名稱： |
鰭式電晶體技術下電漿感應充電效應之偵測與記錄 A Study of On-chip In-Situ Chamber Recorders for Plasma Induced Damage Effect in Advanced FinFET Technologies |
| 指導教授： |
林崇榮
Chrong Jung Lin |
| 口試委員: |
施教仁
金雅琴 |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電子工程研究所 Institute of Electronics Engineering |
| 論文出版年： | 2016 |
| 畢業學年度： | 104 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 74 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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